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只有當能量密度高于閾值時才會產生等離子體，這取決于激光除銹機器被去除的污染層或氧化層。這種閾值效應對于在保證襯底材料安全的條件下有效地清洗基片材料是非常重要的。等離子體的出現有第二個閾值。如果能量密度超過這個閾值，襯底材料就會被破壞。為了保證襯底材料的安全進行有效清洗，必須根據情況調整激光參數，使光脈沖的能量密度嚴格介于兩個閾值之間。

每個激光脈沖去除一定厚度的污染層。如果激光清洗設備污染層較厚，需要多個脈沖來清洗。清潔表面所需的脈沖數量取決于表面污染的程度。兩個閾值產生的一個重要結果是清洗的自我控制。能量密度超過一個閾值的光脈沖將去除污染物，直到襯底材料達到。然而，由于其能量密度低于襯底材料的失效閾值，基片不會被破壞。例如，當工件表面存在亞微米污染顆粒時，這些顆粒往往很緊，傳統的清洗方法無法去除，用納米激光輻射清洗工件表面是非常有效的。由于工件的激光清洗是非接觸式的，所以對精密工件或其精細零件進行激光清洗是非常安全的，可以保證其精度。因此，激光清洗在清潔行業中有其自身的優勢。

傳統清潔工業有多種清洗方法，其中大部分是用化學劑和機械方法清洗的。隨著我國對環境保護法律法規的要求越來越嚴格，環境保護和安全意識的提高，可用于工業生產清潔的化學品種類也越來越少。如何找到更清潔、更無創的清潔是我們必須考慮的問題。激光除銹因其非磨削、非接觸、無熱效應、適用于各種材料而被認為是最可靠、最有效的解決方案。同時，激光清洗可以解決傳統清洗方法無法解決的問題。